大多数麦克风都是驻极体电容器麦克风（ECM），这种技术已经有几十年的历史。ECM 的工作原理是利用具有电荷隔离的聚合材料振动膜。与ECM的聚合材料振动膜相比，MEMS麦克风在不同温度下的性能都十分稳定，不会受温度、振动、湿度和时间的影响。由于耐热性强，MEMS麦克风可承受260℃的高温回流焊，而性能不会有任何变化。由于组装前后敏感性变化很小，这甚至可以节省制造过程中的音频调试成本。目前，集成电路工艺正越来越广泛地被应用在传感器及传感器接口集成电路的制造中。这种微制造工艺具有、设计灵活、尺寸微型化、可与信号处理电路集成、低成本、大批量生产的优点。早期微型麦克风是基于压阻效应的，有研究报道称，制作了以(1×1)cm2、2μm厚的多晶硅膜为敏感膜的麦克风。但是，在敏感膜内不存在应力的情况下，这样大并且很薄的多晶硅膜的一阶谐振频率将低于300Hz。一阶谐振频率在这样低的频段范围内将导致麦克风在听觉频率范围内的频率响应极不均匀(灵敏度的变化量大于40dB)，这对于麦克风应用是不可接受的。当敏感膜内存在张应力时，其谐振频率将增大，却以牺牲灵敏度为代价。当然，可以通过调整敏感膜的尺寸来获得更高的一阶谐振频率，但是这仍将减小灵敏度。由此可见，压阻式方案并不适于微型麦克风的制造 。
一种可行的解决方案就是采用电容式方案，来制造微型麦克风。这一方法的优点就是：在集成电路制造工艺中使用的所有材料都可用于传感器的制造。但是采用单芯片工艺制造微麦克风有相当难度，因为在两个电容极板之间的空气介质只能有很小的间隔。而且，由于尺寸的限制，在一些应用场合偏置电压很难满足。基于上述问题，对于电容式麦克风的研究一直没有间断过
内置麦克风：
内置麦克风是指设置在数码摄像机内的麦克风，用作拍摄录音之用。作为视频和音频的记录装置，数码摄像机的麦克风当然不能马虎。对于消费级的数码摄像机来说，很多麦克风都安装在机体里面，这样的好处是能节省空间，真正实现，消费数码摄像机方便的理念，但是这样一来，内置麦克风可能会在录音的同时录下机器的转动声音，这些噪音在后期制作中很容易分辨，却跟难分离和去掉的。
要解决这些噪音问题，有以下几个办法：
选择录音功能强大的数码摄像机。在众多数码摄像机中，内置麦克风功能多的要数松下的机型。松下内置的广域收音麦克风，在用远摄镜拍摄较远的人物时，较近的环境声都盖过了人物的声音，而松下公司给摄录机均加上ZoomMic功能，可以随镜头变焦，缩窄收音范围，减少杂声，是简单而实用的设备。收音方面亦有WindCut功能，可减少因风声过大引起的杂声。
至于佳能、索尼和JVC的数码摄像机，虽然麦克风在收音性能上与松下并无大差异，但是也相对少了不少的特殊功能。以上提及的数码摄像机，都可以另外配置一个变焦麦克风，其功能和松下的内置麦克风一样，外置的麦克风有一点好处，就是可以避免录下机器转动的声音，外置麦上的隔风层，还能减少空气流过的声音。而对于专业的数码摄像机来说，通常使用的都是外置麦克风。