相比传统的驻极体麦克风，微机电系统（micro-electro-mechanical systems，MEMS）麦克风拥有体积小、耐热性好、一致性好、稳定性好、可靠性高、抗射频干扰等优势，还可以输出数字信号并有利于智能化发展，其市场规模在近10年保持快速增长的势头，各种新兴应用层出不穷，从智能手机到智能音箱，再到真无线立体声（true wireless stereo，TWS）耳机。
频率响应
是指麦克风接受到不同频率声音时，输出信号会随着频率的变化而发生放大或衰减。理想的频率响应曲线为一条水平线，代表输出信号能直实呈现原始声音的特性，但这种理想情况不容易实现。一般来说，电容式麦克风的频率响应曲线会比动圈式的来得平坦。常见的麦克风频率响应曲线大多为高低频衰减，而中低频略为放大。
频率响应曲线图中，横轴为频率，单位为赫兹，大部份情况取对数来表示；纵轴则为灵敏度，单位为分贝
阻抗
3-pin XLR接头可以产生平衡输出信号，可有效消除外来的噪声干扰。三支针脚会标明1、2、3三个数字；在美规中，1代表接地线，2代表正相（hot）讯号，3代表反相（cold）讯号；欧规中，1代表接地线，2代表反相（cold）讯号，3代表正相（hot）讯号 。
信号噪声比
用传声器输出信号电压与传声器内在噪声电压比值的对数值来衡量。一般优质电容式传声器的S/N值为55~57dB 。
动态范围
动态范围小，会引起声音失真，音质变坏，因此要求足够大的动态范围。
等效噪声级
声波的声压作用在传声器上所产生的输出电压同传声器本身固有噪声产生的输出电压相等，该声波声压就等于传声器的等效噪声级。