火湿法联合类的主要工艺为以氢气还原得到铟锡合金，合金再通过精细化的电解精炼进行铟锡的分离等；该技术的缺点是锡主要存在于阳极泥中，铟电解过程中的阳极残级率高，铟的回收率﹤98%。
采用蒸馏法进行铟锡的分离及资源化试验，在油浴温度132 ℃左右，蒸馏5 h左右，可得到满意的铟、锡分离效果及理想的铟锡回收率；本试验工艺可得到99.97%纯度的金属铟产品的同时，还可继续生产高品质的副产品五水氯化锡。蒸馏过程初期蒸出的盐酸经冷凝回收后回用至盐酸浸出工序，节约酸碱中和成本的同时实现了清洁生产。
ITO靶材生产所消耗的铟锭占全球铟消费总量的70%左右，其它包括电子半导体领域、合金和焊料领域、研究行业。全球预估铟储量仅5万吨，其中可开采部分仅有50%。
目前中国ITO靶材供应超一半左右依赖进口。本土厂商生产的ITO靶材主要供应中低端市场，仅占国内市场30%的份额；而高端TFT-LCD、触摸屏用ITO靶材几乎全部从日本、韩国进口，占据了70%的市场份额。