高新技术先进制造与自动化领域中高性能、智能化仪器仪表包括1.新型传感器采用新原理、新材料、新工艺、新结构，具有高稳定性、高可靠性、高精度、智能化的新型传感器技术；新型电子皮肤传感器技术等。

* 采用传统工艺且性能没有提高的传感器除外。

2.新型自动化仪器仪表适用于实时在线分析、新型现场控制系统、e网控制系统、基于工业控制计算机和可编程控制的开放式控制系统及特种测控装备，能满足重大工程项目在智能化、高精度、高可靠性、大量程、耐腐蚀、全密封和防爆等特殊要求的新型自动化仪器仪表技术等。

* 技术含量低和精度低的传统流量、温度、物位、压力计或变送器除外。

3.科学分析仪器/检测仪器用于监控、产品质量控制的科学分析仪器和检测仪器技术等。

* 传统的气相色谱仪除外。

4.制造中的测控仪器仪表精密成形、超精密加工制造中的测控仪器仪表、亚微米到纳米级制造中的测控仪器仪表、激光加工中的测控仪器仪表、制造中的无损检测仪器仪表以及网络化、协同化、开放型的测控系统技术；裸眼3D膜质量检测仪器技术等。

5.微机电系统技术以微米、纳米加工技术为基础制造的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路等于一体的微机电系统（MEMS）技术等。

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