洁净室中的温湿度控制

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产湿度范围为35—45%。

气压规定

对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的维持一般应符合以下原则：

1．洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。

压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄（或渗透）风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。

无尘车间不同级别空气洁净度的空气过滤器的选用、布置要点：对于300000级空气净化处理，可采用亚过滤器代替过滤器；空气洁净度100级、10000级及100000级的空气净化处理，应采用初、中、过滤器三级过滤器；中效或空气过滤器宜按小于或等于额定风量选用；中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的正压段；或亚空气过滤器宜设置在净化空气调节系统的末端。

化妆品净化车间设计及厂房无尘车间装修

化妆品并不是一个新兴的行业，古代人民已经会使用各种化妆品来衬托自己的美丽。现代化妆品行业源于化学工业，经过了矿物油时代、天然成分时代和零负担时代。化妆品技术越来越先进，化妆品对皮肤的刺激也越来越少，对化妆品净化车间的要求也在不断提升。

普通敞开式空间，每立方米空气中粉尘粒子的含量为500万个，远远达不到化妆品的生产要求。为了符合车间无尘的标准，在厂房设计和配备上，要求将一定空间范围内空气中的粉尘、等污染物排除，并将车间的温度、湿度、气流和静电等控制在一定范围内，也就有了1万级、10万级、30万级等净化标准。

化妆品净化车间在设计与安装上有清晰的规则，原则上应当设置原料间，制作间，半成品存放间，灌装间，包装间，容器清洁、、干燥、存放间，仓库，检验室，储存间一般采用一万级空气净化标准，其他实验室、原料室、灌装间更衣室等采用十万级空气净化标准，各个取件封闭独立，防止交叉污染，确保所有化妆品无污染，保证产品品质。