X荧光无损膜层测厚仪采用X射线荧光的工作原理是，X 射线管产生初级射线照射在受检物质时，会激发物质放射X－射线萤光辐射，特定的元素有特定的辐射信号，接收器便会记录这些能量光谱。不需要先对样品进行处理便能测量，样品可直接放入测量室进行测量。不需要复杂、昂贵的仪器来抽真空，便能在正常的环境下测量从元素Z＝13铝到Z＝92（铀），固定、浆状及液体的样本也可以测量，即使是极小不规则形状的测量面积也可快速、免接触的测量。X荧光无损膜层测厚仪只需短短数秒钟，所有从17号元素氯到92号元素镭的所有元素都能准确测定.可测量：

单一镀层：Zn， Ni，Cr，Cu，Ag，Au，Sn等。 二元合金层：例如Fe上的SnPb，ZnNi和NiP合金。

三元合金层：例如Ni上的AuCdCu合金。

双镀层：例如Au/Ni/Cu，Cr/Ni/Cu，Au/Ag/Ni，Sn/Cu/Brass，等等。

双镀层，其中一个镀层为合金层：例如Cr/NiCu/Plastic；Fe。

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